104.jpg

Máy phân tích bề mặt độ phân giải cao

Taylor Hobson - CCI HD

Được thiết kế để sử dụng trong các nhà máy sản xuất và nghiên cứu, CCI HD có thể đo được chiều dày mỏng đến 1.5 micron và phân tích lớp phủ đến 50nm

Đặc Tính Kỹ Thuật
  • Độ phân giải cao đến 2048 x 2048 pixel với góc quan sát rộng
  • Độ phân giải 0.1 ångström cho toàn bộ phạm vi đo
  • Đo trên bề mặt phản xạ từ 0.3% đến 100% một cách dễ dàng
  • Độ lặp lại hiệu dụng (RMS) <0.2 ångström, Độ lặp lại trên mẫu bậc <0.1%
  • Phần mềm điều khiển và phân tích Windows 64-bit đa ngôn ngữ
Thông Số Kỹ Thuật
Overview
System
Measurement type3D non-contact
Measurement modeCoherence Correlation Interferometry (CCI)
Z scannerUltra high precision closed loop piezoless scanner
Objective mount3 position turret
X/Y StageAutomatic
Z stageAutomatic
Performance
Single scan range (Z)2.2 mm as standard (closed loop)
Z-stitching rangeUp to the working distance of the lens (current maximum is 40 mm)
Z-resolution (max)0.01 nm
Noise floor (Z)<0.02 nm [0.2 Å]
Repeatability of surface RMS<0.01 nm [0.1 Å]
Number of measurement points2048 x 2048
Step height repeatability<0.02%
Surface reflectivity<0.34 % - 100%

Sản Phẩm Cùng Danh Mục

Không có sản phẩm nào