Máy phân tích bề mặt không tiếp xúc phổ thông
Hệ thống đo và phân tích bề mặt 3D không tiếp xúc CCI MP là dòng phổ thông cho các ứng dụng đo bề mặt đánh bóng đến
Overview | |
System | |
Measurement type | 3D non-contact |
Measurement mode | Coherence Correlation Interferometry (CCI) |
Z scanner | Ultra high precision closed loop piezoless scanner |
Objective mount | 3 position turret |
X/Y Stage | Automatic |
Z stage | Automatic |
Performance | |
Single scan range (Z) | 2.2 mm as standard (closed loop) |
Z-stitching range | Up to the working distance of the lens (current maximum is 40 mm) |
Z-resolution (max) | 0.01 nm |
Noise floor (Z) | <0.08 nm="" 0="" 8="" span=""> |
Repeatability of surface RMS | <0.01 nm="" 0="" 1="" span=""> |
Number of measurement points | 1024 x 1024 |
Step height repeatability | <0.02% |
Surface reflectivity | <0.34 % - 100% |